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        化学品分派体系是旨在将化学品和化学品运送到用于湿法处置惩罚晶圆的生产工具。一般,干处置惩罚化学品经由过程过滤器被泵送到储罐中,然后将过滤的化学品供应到工场中其他的处置惩罚东西。过滤流量一般很低,一般是单程的,意味着这些化学品只被过滤一次。因为过滤器有一个或多个时机能够去除不需要的颗粒,以是应当运用具有下颗粒去除效力的过滤器。

        XZC为化学品分派供应幻想挑选,这些过滤器专为单通道或小流量体系而设想,并针对最高的颗粒去除效力和干净度停止了优化。

化学品分派.jpg


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