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        半导体产业用的超纯气体有氢、氧、氮、氩、氦、氨、二氧化铵、四氧化碳各种气体氢化物及二元或三元以上的混淆气等,它们大部分 是从氛围、天然气、石油化工和合成氨厂的剩余气体中提取后进一步精制获得,凭据质料气泉源状况、杂质组份含量、纯度要求去挑选响应的制备要领。集成电路发 展到兆位级后,对超净提出了更严厉要求,正在超纯气体或电子气体供气体系中,为了脱除因为振动或气流打击所形成的脱落粒子,正在运用气前须安装过滤器。

        (POU)过滤器是运用ISO 9001认证质量体系正在最先辈的Class 100洁净室中制造的。过滤器是周详焊接正在一个稀奇设想的手套箱取大气净化。去离子水冲刷,然后是高压,0.003μm过滤氮冲刷去除颗粒,并防备颗粒脱落。

我们的POU过滤器凭据需求真空枯燥至小于10ppb的水份,有机物小于10ppb THC。POU过滤器接纳无颗粒,化学干净,无有机物处置惩罚和装袋的体式格局,可最大限度天进步安装正在要求最严厉的微电子运用中的包装中干净度。凌驾半导体加工的下纯度气体处置惩罚过滤要求。                   

        我们下质量产物经由普遍的测试,以确保其知足半导体制造中气体运送体系的要害过滤效力,准确的流量掌握和平安要求。





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